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硅片退火治理是若何回事?为什么要举行退火?

日期:2019-11-03 12:48 来源: 发电设备

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硅片退火治理是若何回事?为什么要举行退火?

  硅片退火处理,是工艺的一个环节。是按一定的程序对硅片进行升温、降温.的过程;

  为什么要进行退火?原因之一是,硅片中含有氧,氧有吸取杂质的作用。退火时可以将硅片表面附近的氧,从其表面挥发脱除,使表面附近的杂质数量减少。有利于器件的制造;

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